产品搜索
产品目录

联系方式
笃挚仪器(上海)有限公司
联系人:张磊
地址:香港青蛙彩票807000
邮编:
邮箱:2181516286@qq.com
技术文章首页 > 技术文章 > 全部文章
RENNISHAW雷尼绍光栅
点击次数:51 发布时间:2019-02-25 打印本页面 返回

RENNISHAW雷尼绍光栅

 

附件REE/REF:

REE系列细分盒为更低等级的信号细分提供简单的“即插即用”解决方案。REE系列细分盒使数字正交输出信号的分辨率提高了至少20倍。REE的三个模式,设计初衷是用于雷尼绍的钢带光栅系列,目前经过验证也可用于RLE。

 

提供十进制和二进制细分选项

REE和REF是具有创新意义的细分盒,可提供多种创新功能和x4096的一系列细分系数。读数头的光学滤波系统与接口的自动增益、偏置与平衡控制相结合,可在任意速度下,将周期误差(电子细分误差 - SDE)控制在±50 nm以下。也可提供模拟输出接口,它使用这种出众的信号控制,通过适当质量的模拟输入来输出高精度的1 Vpp信号。

高速

REE和REF都能产生行业标准的RS422A高速数字方波(在0.1 μm分辨率时为2.8 m/s),并提供多种更高的用户可选的时钟频率(25、30、50 MHz),以确保与新一代高速主控制器兼容。REE细分1 Vpp光栅输出,而REF细分来自超小型RGH25F和RGH20F读数头的独特信号。

安装简单

REE与REF都具有快速、可靠的校准步骤,可保证的安装,还具有监控信号强度的三色LED安装指示灯。为帮助实现安装,在信号强度到达100% ±10%时LED指示灯亮蓝色。还有一个设定行,其电压与信号幅值成正比,用于远程监控和诊断。

REF接口特性:
自调节主动修正
REF接口主动修正输入信号的瑕疵,从而提高系统精度。主要进行以下修正:
自动偏置控制 (AOC) - 分别调整正弦和余弦信号的偏移量
自动增益控制 (AGC) - 确保信号幅值一致,即1 Vpp
自动平衡控制 (ABC) - 调整增益量,保持正弦和余弦信号相等
这些修正机制在读数头整个工作速度范围内进行修正。
用户可通过按下校准按钮3秒以上禁用/启用AGC。

平面镜系统性能 

REE模式REE订货号分辨率 (nm)高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B1.58217.7
REE200REE0200A20B0.7918.8
REE400REE0400A20B0.3954.4

角锥反射镜系统性能 

REE模式REE订货号分辨率 (nm)高速度 (mm/s)
REE100REE0100A20B3.16435.4
REE200REE0200A20B1.58217.7
REE400REE0400A20B0.7918.8

Using 20 µm scale
REE0004 - 5 µm resolution
REE0020 - 1 µm resolution
REE0040 - 0.5 µm resolution
REE0100 - 0.2 µm resolution
REE0200 - 0.1 µm resolution
REE0400 - 50 nm resolution
REE1000 - 20 nm resolution
REE2000 - 10 nm resolution
REE4000 - 5 nm resolution
Using 40 µm scale
REE0004 - 10 µm resolution
REE0020 - 2 µm resolution
REE0040 - 1 µm resolution
REE0100 - 0.4 µm resolution
REE0200 - 0.2 µm resolution
REE0400 - 0.1 µm resolution
REE1000 - 40 nm resolution
REE2000 - 20 nm resolution
REE4000 - 10 nm resolution

联系人:
张磊 
 

推荐收藏该企业网站
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站